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重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。20W機型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中，強而常用的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，強的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產品中，有將氬氣與氪氣混合的機型。

如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優(yōu)越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。常用的激光焊接保護氣體主要有N2、Ar、He，其物化性質各有差異，也因此對焊縫的作用效果也各不相同。

氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動介質的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。

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